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风险分析的关键要素是什么 朔方华创恳求承载安设以及半导体加工开采专利, 大意灵验贵重冷却液体发生败露
发布日期:2025-02-02 07:04    点击次数:79

风险分析的关键要素是什么 朔方华创恳求承载安设以及半导体加工开采专利, 大意灵验贵重冷却液体发生败露

金融界2025年1月31日讯息,国度常识产权局信息清醒,北京朔方华创微电子装备有限公司恳求一项名为“承载安设以及半导体加工开采”的专利,公开号CN119381287A,恳求日历为2023年7月。

专利摘录清醒,本发明提供一种承载安设以及半导体加工开采,承载安设包括固定部件以及建树于固定部件上方的可旋转的旋动部件,固定部件包括第一接头面,旋动部件包括用于承载晶圆的承载面,和背离承载面的第二接头面,第一接头面与第二接头面贴合建树;固定部件包括固定主体和建树于固定主体中的用于供冷却液体流动的冷却通谈,冷却通谈通过固定主体与旋动部件的热交换来冷却旋动部件。借助本发明提供的承载安设,大意使晶圆在加工历程中进行旋转的同期,简化了密封结构,晋升了密封的成果并大意灵验贵重冷却液体发生败露。

天眼查辛勤清醒,北京朔方华创微电子装备有限公司,建造于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册老本114153.708311万东谈主民币,实缴老本114153.708311万东谈主民币。通过天眼查大数据分析,北京朔方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标技俩1000次,常识产权方面有商标信息38条,专利信息5000条,此外企业还领有行政许可339个。

本文源自:金融界



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